歡迎訪問成都鑫南光機械設備有限公司官方網站!

成都鑫南光機械設備有限公司

赛马会原创单双中特 www.sqdon.com 二十年專業品質 通過ISO9001質量體系認證

立即咨詢

24小時咨詢熱線:
13908187709
G-25型高精密單面光刻機

簡介—— 鑫南光小編為大家介紹四川光刻機信息:一、G-25型光刻機的主要用途本設備廣泛應用于進行批量生產的各大、中、小型企業,它主

聯系電話:1390818770913908187709

詳情內容/ Content details

手機掃一掃



G-25型高赛马会原创单双中特

產品介紹:

設備概述:

本設備廣泛應用于進行批量生產的各大、中、小型企業,它主要用于中小規模集成電路、半導體元器件、聲表面波器件的研制和生產,由于本機找平機構先進,找平力小、使本機不僅適合各型基片的曝光,而且也適合易碎片如砷化鉀、磷化銦等基片的曝光以及非圓形基片和小型基片的曝光。

主要構成

主要由高精度對準工作臺、雙目分離視場CCD顯微顯示系統、高均勻性曝光頭、PLC電控系統、氣動系統、真空管路系統、直聯式真空泵、二級防震工作臺和附件箱等組成。


LED曝光頭及部件 三點找平機構 高精度X、Y、Z、Q 調節機構


主要功能特點

1. 適用范圍廣
適用于100X100mm以下,厚度5mm以下的各種基片(包括非圓形基片)的對準曝光。
2. 結構先進,分辨率高
具有三點式自動找平機構和可實現真空硬接觸、軟接觸、微力接觸的真空密著機構;具有真空掩膜版架、真空片吸盤,本機采用高均勻性的4寸LED專用曝光頭,非常理想

的三點式自動找平機構和穩定可靠的真空密著裝置,使本機的曝光分辨率大為提高。

3. 套刻精度高、速度快

采用版不動片動的下置式三層導軌對準方式,使導軌自重和受力方向保持一致,自動消    除間隙;承片臺升降采用無間隙滾珠直進導軌、氣動式Z軸升降機構和雙簧片微分離機構,使本機片對版在分離接觸時漂移特小,對準精度高,對準速度快,從而提高了版的復用率和產品的成品率。

4. 可靠性高
采用進口(日本產)電磁閥、按鈕、定時器;采用獨特的氣動系統、真空管路系統和

精密的機械零件,使本機運行具有非常高的可靠性。
5. 特設功能
除標準承片臺外,還可以為用戶定制專用承片臺,來解決非圓形基片、碎片和底面

不平的基片造成的版片分離不開所引起的版片無法對準的問題

主要技術指標

1、曝光類型:單面;

2、曝光面積:110×110mm;

3、曝光照度不均勻性:≤±3%;

4、曝光強度:0~30mw/cm2可調;

5、紫外光束角:≤3?;

6、紫外光中心波長:365nm(也可以配專用曝光頭實現g線、h線、I線的組合);

7、紫外光源壽命:≥2萬小時;

8、曝光分辨率:1μm;

9、曝光模式:可選擇一次曝光或套刻曝光;

10、顯微鏡掃描范圍:X: ±15mm   Y: ±15mm;

11、對準范圍:X、Y粗調±3mm,細調±0.3mm;Q粗調±15°,細調±3°;

12、套刻精度:1μm;

13、分離量;0~50μm可調;

14、接觸-分離漂移:≤1μm;

15、曝光方式:接觸式曝光;

16、找平方式:三點式自動找平;

17、顯微系統:雙視場CCD系統,顯微鏡91X~570X連續變倍(物鏡1.6X-10X連續變倍),雙物鏡距離可調范圍50mm~100mm,計算機圖像處理系統,19″液晶監視器;

18、掩模版尺寸: ≤127×127mm;

19、基片尺寸:≤Φ102mm(或者102×102mm);

20、基片厚度:≤5 mm

21、曝光定時:0~999.9秒可調;

希望以上關于赛马会原创单双中特的信息介紹對你有所幫助,更多信息可以直接撥打網站上的咨詢電話和我們取得聯系。

四川光刻機

在線留言

message
掃一掃更精彩掃一掃更精彩
  • 聯系人:劉經理
  • 聯系電話:13908187709
  • 座機:028-85730589
  • 400電話:13908187709
  • 郵箱:[email protected]
  • 地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
在線客服

如果您對此產品感興趣! 請直接聯系成都鑫南光機械設備有限公司!

相關推薦

HOT RECOMMEND
  • P2型高真空排氣臺

    P2型高真空排氣臺介紹:一、 本設備用于真空器件的排氣處理。二、 主要技術指標:1、 最高溫度:500℃。2、 工作溫度…

    了解詳情
  • G-25X型高精密單面光刻機

    G—25X型精密光刻機主要技術指標一、主要用途 本設備是我公司針對各大專院校及科研單位對光刻機的使用特性專門研發的一種精…

    了解詳情
  • G-25XA型高精密單面光刻機

    關于G-25XA型精密光刻機產品介紹:一、主要用途: 本設備是我公司專門針對各大專院校及科研單位對光刻機的使用特性研發的…

    了解詳情
  • 四川鎢網氫氣爐

    四川鎢網氫氣爐產品介紹:一、鎢網氫氣爐用途本設備為坑式單工位,用于氫氣或成型氣氛中對真空元器件的零部件進行燒氫、退火以及…

    了解詳情
  • 四川氫氣爐

    鑫南光公司小編為大家介紹四川氫氣爐產品介紹:一、雙工位氫氣爐用途本設備供各類零件在氫氣氣氛中進行釬焊、光亮退火、陶瓷金屬…

    了解詳情

快速通道 Express Lane

咨詢熱線

1390818770913908187709

郵箱:[email protected]

QQ:15390063681

鑫南光咨詢服務熱線:
13908187709

立即在線咨詢預約

掃一掃有驚喜哦

二維碼
地址:成都市蛟龍工業港雙流園區渤海路36號(3座)
版權所有:

成都鑫南光機械設備有限公司

備案號: 蜀ICP備12015633號-3

網站地圖 RSS XML  四川|成都|德陽|綿陽|
聯系人:劉經理 電話:028-85730589      技術支持:動力無限 萬家燈火
  全國服務熱線:13908187709  郵箱:[email protected]
成都鑫南光機械設備有限公司主要從事四川光刻機 四川氫氣爐 四川真空泵 的產品,歡迎前來咨詢!
在線咨詢
在線留言
客服電話
掃一掃
成都鑫南光機械設備有限公司

掃一掃
進入手機網站

全國服務熱線
13908187709

返回頂部